ミラー

精密鏡

ZYGOの精密光学ミラーは、さまざまな極限環境においても確実に機能するよう厳密に制御管理された製造プロセスで 製造しています。これらは、水中や砂漠、高い標高で使用されており、さらには地球上を周回するユニットでも使用されています。当社では、貴社の要件を満たすもしくはそれを超える仕様であらゆる精密光学ミラーのカスタマイズにお応えします。

航空宇宙アプリケーションのように、重量が非常に重要なファクターとなるアプリケーションでは、ミラーを軽量化することが可能です。 軽量化は、光学的性能を維持しながら、機械加工などによって光学部材からくり抜くプロセスです。  軽量化は、光学的性能を維持しながら、機械加工などによって光学部品から材料を取り除くプロセスです。

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主な特長

  • 形状 (平面、球面、非球面) <λ/ 50PV
  • 干渉計フルアパーチャーで平面の場合は最大32インチ、球面/非球面の場合は最大12インチ(繋ぎ合わせ機能でそれ以上可能)
  • 表面粗さ 1 nm rmsi>

アプリケーション

ZYGOには、さまざまなアプリケーション向けにカスタムメイドの光学ミラーを製造してきた長年の歴史があります。以下はその一例です

  • EUVミラー
  • 軽量ミラー
  • スペースミラー
  • リソグラフィステッパーのステージコンポーネント
  • X線ミラー
  • 防衛/航空宇宙
  • 医療・ライフサイエンス
  • 産業向けOEM
  • 諜報、監視、偵察 (ISR)
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