干渉計

ZMI™ シリーズ – ナノ精度変位測定用干渉計

ZYGOの干渉計構成は、さまざまな測定シナリオに対応可能です。標準品以外に、用途に合わせたカスタマイズ干渉計の設計が可能です。単軸から複数軸、真空中での使用についても対応します。

  • 詳細
  • パンフレットと
    仕様シート
  • マニュアル
  • 技術文書

線形干渉計(LI)

シングルパス干渉計となり、ターゲットにはリトロリフレクタを使用し、移動するオブジェクト、または固定点を中心に回転するオブジェクトを追跡・測定します。ZYGOのコンパクトな標準サイズの線形干渉計は、様々なシステムスの制約に対応し使用されています。例:レチクルステージ、ガントリーシステム、ステアリングミラー

平面鏡干渉計(HSPMI)

ダブルパス干渉計となり、ターゲットには平面鏡を使用し、移動するオブジェクトを追跡・測定します。ZYGOの平面鏡干渉計は、熱誤差を軽減し高い安定性が得られるよう設計されています。例:ウエハーステージ、スタックステージシステム

波長補正器(CWC)

設置個所の環境による屈折率の変化を測定し、測定軸の補正に使用します。ZYGOのコンパクト波長補正器は、高い精度で周囲条件のフィードバックを実現し、変位測定に最高のパフォーマンスを提供します。

 

アクセサリ

レーザー光源から干渉計、そして最終的に測定用エレクトロニクス(基板)へとビームを送ることで、測定システムが完成します。ZYGOは、お客様の測定システムに柔軟に対応できるよう、さまざまな光学製品(フォールドミラー、ビームスプリッター、光ファイバーピックアップ、ファイバケーブル等)を取り揃えています。

ZMI用アクセサリ

カスタム干渉計設計

ZYGOは、OEMアプリケーション向けのカスタム多軸干渉計の設計を得意としています。カスタム設計により、スペースの問題など、様々な問題に対応する事が可能です。これにより、システムのアライメント時間の短縮等、システム統合への効率アップが考えられます。

カスタムマルチ軸干渉計