超小型絶対位置センサー

最大64チャンネルで同期した高精度の非接触式絶対位置測定を提供します。

ZPSセンサーZYGOのZPS™システムは、非接触の超小型光学センサの為、デフォーマブルミラーやレンズの位置決めなどの様々な高精度アプリケーションに統合し、複数の絶対位置を測定することができます。

ZYGOのZPS™システムは、最大64チャンネルで同期し、1.2mmの範囲で高い精度の非接触式絶対位置測定を提供します。1日で1nm以下の測定安定性で、測定分解能は0.01nmとなります。

ZPSセンサは熱を発生せず、電磁干渉の影響を受けないため、ZPS™システムはこのような影響が想定される高精度アプリケーションにも最適です。超コンパクトなZPSセンサは、光ファイバケーブルを介し、集中型筐体(シャーシ)に接続されます。付属のZPS™ソフトウェアは、ZPS™システムとコンピューター間のプラグアンドプレイ接続を提供し、システムを素早く容易に起動しZPS™システムを使用することができます。

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アプリケーション

ZPS 統合アクセサリZPSシステムは通常、ドリフトを補正し正確な位置決めと位置合わせを維持するために、複数のセンサーからの精度の高い位置データの連続ストリームを必要とする、閉ループフィードバックシステムで使用されます。このシステムは、RD&Eおよび製造環境で、テスト治具の位置合わせや動的機械的性能の定量化のためのツールとしても使用できます。

主な特長:

  • 非接触式温度計測
  • 再現性のある絶対位置測定 (≤0.5nm、3σ)
  • 独自の補正アルゴリズムを使用した高精度システム
  • EMI感受性を持たず、発熱のない超小型センサー
  • 電気通信で実証済みの信頼性の高い光ファイバーコンポーネント
  • スケーラブル、最大64チャンネル