3D光学プロファイラ用Mx™

ZYGOのMx™ソフトウェアは、インタラクティブな3Dマップ、定量的トポグラフィーデータ、直感的ナビゲーション、統計結果チャート、合格/不合格判定などのビルトインSPCが含まれる、完全なシステム制御とデータ解析を可能にします。

世界クラスの解析・制御ソフトウェア

Mxは、信頼性の高いMetroPro測定・解析ソフトウェアの後継製品です。Mxは、信頼できる測定、強力なカスタマイズと生産に適した自動化を継承します。そのワークフローベースの設計により、セットアップから解析、レポートまで、測定フローに沿ってユーザーをガイドします。

インタラクティブプロットは、プロファイルスライス、マテリアルレシオ、スロープ解析、PSD解析とともに、2Dまたは3Dの全領域データを表示します。ビルトインのSPC、合格/不合格の表示、データレポートと実行チャートで、製造品質解析がより簡単になります。

Mx ハイライト

3D プロファイラプロット

信頼できる測定 – Mxを使用した測定では、粗い表面や角度のある表面でも、また困難な環境でも、トポグラフィデータを取得できます。ZYGO独自のテクノロジーが、より多くの信頼できるデータを提供します。

柔軟な測定 – ISOに準拠する粗さと平坦度のフィルタリングから、欠陥検出の自動セグメンテーション、要素の分離と解析まで、Mxはデータが伝える事実を理解するのに役立つ解析ツールキットを提供します。


直感的なユーザーインターフェース

直感的なユーザーインターフェース – 便利なユーザーインターフェースを使用することで、すぐに自信を持って測定を始められます。さらに、強力なカスタマイズツールを使用して、簡単なワンクリックまたは自動化インターフェースをすばやく作成できます。

自動化された操作 – Mxでは、グラフィカルインターフェースを使用して、複数の視野のスティッチ、トレイを使用した複数のサンプルの測定、サンプルの複数の表面を解析する複雑なレシピなど、完全自動測定シーケンスを簡単に構成できます。ユーザーの介入によって重要な測定が影響を受けないよう、ユーザーレベルを制限して構成をロックすることができます。