Verifire™ XL

大開口ダウンルッキング干渉計

大口径で設置面積の小さいVerifire XLは、直径300mmまでの平面光学部品を簡単にテストできる、干渉計ワークステーションです。

この完全統合型のシステムは、カスタム治具が不要で、繰り返し測定可能な部品配置を提供する使いやすい頑丈なチップ/チルトステージを備えています。

コンパクトな設置面積に除振装置とコントローラモニタースタンドを組み込むことで、必要なスペースを最低限に抑えます。

  • 詳細
  • パンフレットと
    仕様シート
  • アプリケーション
    ノート
  • マニュアル
  • 技術文書
  • 動画

Verifire XL 干渉計システムによる軽量光学部品測定

ミラー、ウィンドウ、半導体ウェーハ、ウェーハチャック、ブロック平面など、直径12インチ (300 mm) までの平面光学表面の表面を測定するための独立型大口径ワークステーション。

主な特長

  • 部品の取り扱いと位置合わせが容易な下向きの12インチ (300 mm) の口径
  • 干渉計メインフレーム、パッシブ除振システム、テスト部品アライメント用ステージ、1/15波PVr透過平面 (TF) が含まれたシステム
  • コンパクトな設置面積で、貴重なスペースの消費を最小限に抑えます
  • 生産環境で信頼性の高い測定を行うための統合型除振システムとQPSI™テクノロジー
img1
Laser Interferometers
img1
Laser Interferometers
img1
Verifire™ XL
img1
Laser Interferometer Accessory Guide
img1
Interactive Transmission Sphere Selector
img1
Interferogram Interpretation and Evaluation Guide
img1
Transmission Sphere Selection Guide
題名
書類
ダウンロードリンク
Laser Interferometers
DocumentBrochure
ダウンロードリンク ダウンロード
Laser Interferometers
DocumentBrochure
ダウンロードリンク ダウンロード
Verifire™ XL
DocumentSpecifications
ダウンロードリンク ダウンロード
Laser Interferometer Accessory Guide
DocumentBrochure
ダウンロードリンク ダウンロード
Interactive Transmission Sphere Selector
DocumentInteractive Document
ダウンロードリンク ダウンロード
Interferogram Interpretation and Evaluation Guide
DocumentReference Guide
ダウンロードリンク ダウンロード
Transmission Sphere Selection Guide
DocumentBrochure
ダウンロードリンク ダウンロード