Verifire™ HD/HDX

クラス最高の分解能とITFを用いた中空間周波数の特性化

Verifire HDX干渉計システム干渉計の分解能を最大限に高めた Verifire HDとVerifire HDX干渉計システムは、光学表面の比類なき優れた中空間周波数特性評価を提供します。 単にシステムのピクセル数を増やすだけでは十分ではありません。ピクセル数が限られた干渉計のパフォーマンスを保証し、最も要求の厳しいアプリケーションに必要な表面のディテールを捉えるには、厳密な光学設計が求められます。 ZYGO独自のITF (Instrument Transfer Function) 評価手法により、性能がアプリケーションに必要な機能を備えた設計に適合していることが保証されます。

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ZYGOの Verifire HD および Verifire HDX は、極めて高性能な光学部品およびシステムの中間空間周波数コンテンツの特性評価用に設計・構築されています。 QPSI、およびZYGO製の寿命の長い安定化レーザーが標準で含まれ、その他に、優れたITFのためのクラス最高のイメージングと解像度、中間周波数成分のより優れた特性評価、および高傾斜表面の評価が可能です。

主な特長

  • 厳密な光学設計によってサポートされ、ZYGO独自のITF定量化技術によって検証された、5.3メガピクセル (Verifire HD) と11.6メガピクセル (Verifire HDX) のカメラ分解能。
  • ZYGO独自のQPSI™測定テクノロジーが、振動が生じやすい環境における信頼性の高い測定を実現します。
  • ZYGO製HeNeレーザー光源
    • 市販のレーザーよりも長寿命で、3年間保証の付いた60k時間の寿命!
    • 改善された振動性能と低照度アプリケーションのための高出力
    • 0.0001nmの安定した波長
  • 最も困難な環境で振動の影響を受けずに測定するための、オプションのDynaPhase™瞬間測定
  • コヒーレントアーティファクト低減システム (CARS) は、内部アーティファクトからブルズアイを排除し、測定時のコヒーレントノイズを最大10分の1に低減します。
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