ZeGage™ Pro

生産現場で使える白色干渉計

ZeGage Pro HR 白色干渉計

ZeGage™ ProとZeGage™ Pro HR 白色干渉計は、製造現場での品質管理とプロセス管理を保証する、さまざまな種類の表面のマイクロスケールとナノスケールの非接触表面測定と特性評価を提供します。

当社の業界をリードするZeGage Proシリーズは、ベンチトップクラスの産業用白色干渉計の性能、使いやすさ、柔軟性と精度を保証します。ZYGO独自のCSIテクノロジーに基づいて構築されたZeGage Proは、正確で信頼性の高い、シンプルな表面測定を可能にする革新的なテクノロジーを提供します。

その独自の機能には、耐振動性測定のためのSureScan™テクノロジー、パーツファインダー、部品のセットアップを容易にし、測定を最適化するためのスマートセットアップなどがあります。 さまざまな表面や部品を、素速く簡単に測定することが、かつてなくシンプルになりました。

ZeGage™ Proシステムのパワー、汎用性、および価値を活用する方法については、詳細をご覧ください。

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 強力なパフォーマンス

  • 独自の非接触測定技術がSureScan™テクノロジーで強化されたことで、振動の影響を受けにくくなり、施設内のどこにでも設置できるようになりました。
  • ナノメートルレベルの精度の定量的表面測定は、より優れたゲージ機能を提供します。
  • 190万ピクセルの高分解能イメージセンサーは、わずか数秒の高速面測定で、表面の高度なデータ化と視覚化を提供します。
  • 完全に自動化された測定シーケンスとフィールドスティッチで、広い領域の高分解能測定が可能です。(オプションの電動ステージが必要です)

汎用性

  • 表面のテクスチャ、形状、ステップの高さなどの2Dおよび3Dプロファイルを含む、さまざまな表面性状とパラメータを測定します。
  • 付属のMxソフトウェアは、表面データの視覚化、分析、およびレポート作成のための包括的なツールを提供します。
  • 対物レンズのタレット、手動および電動の試料用ステージ、CognexのVisionPro®を使用したフィルムトポグラフィプロファイリングおよび2D分析用オプションのソフトウェアモジュールなどのアクセサリを使用して、測定範囲を拡大しましょう。

生産性向上と投資効果

  • スマートセットアップテクノロジーは、測定パーツの検出、光量設定、スキャン範囲を自動化することで、トレーニング時間を短縮し、パーツの切替えに要する時間を減らします。 スマートセットアップでは通常、パーツを対物レンズの下に置いてから1分以内に最初のデータマップを作成します。
  • 接触式プロファイラを含む代替システムよりも高いコストパフォーマンスです。
  • 非接触式手法では、消耗部品の交換費用の心配が不要です。
  • コンパクトで耐振動性を備えたSureScan™テクノロジーにより、施設内のどこにでも簡単に設置できます。