Nexview™ 650

Large Format Inspection & Metrology

Nexview 650The Nexview™ 650 metrology system is an inspection tool for automated measurement of injection molding tooling, PCBs, glass panels and other samples requiring an extended work volume up to 650 x 650 mm. It provides 2D & 3D measurements of a variety of surface features with sub-nanometer vertical precision and sub-micron lateral precision.

Powerful Performance

Coherence Scanning Interferometry (CSI) is the measurement technology at the core of the Nexview™ 650 system.

This non-contact technique provides high-precision, and high-value surface metrology benefits including:

  • Measures virtually all types of surfaces, from rough to super smooth, including thin films, steep slopes, and large steps.
  • Sub-nanometer measurement precision is independent of field magnification
  • Gage capable performance - exceptional precision and repeatability for the most demanding production applications.
  • SureScan™ vibration tolerance technology - robust operation in virtually any environment.
  • Mx™ software enables seamless data exchange with other ZYGO Profilers including ZeGage™ Pro, NewView™ 9000, and Nexview™ NX2.
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Maximize ROI

Nexview 650

The Nexview™ 650 has been designed and built to ensure that the system provides value for years to come.  With a metrology area that accommodates lateral dimensions up to 650 x 650 mm and sample load of > 100 kg, a vertical range of 150 mm, and options for a fully enclosed, or partially enclosed system, the Nexview™ 650 provides maximum flexibility for large samples that require precision 3D optical profiling.

For example. The system accommodates:

  • Any of today's standard PCB substrate panel sizes
  • Custom defined sample holders for flexible sheets, etc. which can be deployed with little concern for their mass on the high load Y stage
  • Large, high mass injection molding plates that benefit from precise non-contact inspection to minimize potential precision surface damage

Customized chucks and sample holders can be designed or customer supplied to adapt the system for smaller panels or even singulated substrates to maximize application flexibility.

And the system's integrated recipe-driven automation software enables hands-free metrology of multiple features on each panel, all in a single workstation, reducing production time and increasing process knowledge. 

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光学プロファイラ用アクセサリガイド (NewView 8/9000と Nexview/NX2用)
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Mx™クイックスタートガイド
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Mx™参照ガイド
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Mx™リモートアクセスガイド
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光学プロファイラ用アクセサリガイド (NewView 8/9000と Nexview/NX2用)
DocumentOMP-0594J
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Mx™クイックスタートガイド
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信頼性の高いエンジン軽量化を可能にする3D光学プロファイラ
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3D干渉顕微鏡法向けの新しいクラスの広視野対物レンズ
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偏向のある圧電アクチュエータからの正確で反復的な直線運動
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エネルギー効率を高める高度な計測
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光学計測の進歩
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コヒーレンススキャン干渉法による表面膜の角度分解三次元分析
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コヒーレンススキャン干渉法を使用したモデルベースの透明表面膜分析の応用
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波長標準を用いた干渉顕微鏡法の増幅係数の較正
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信頼性の高いエンジン軽量化を可能にする3D光学プロファイラ
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3D干渉顕微鏡法向けの新しいクラスの広視野対物レンズ
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偏向のある圧電アクチュエータからの正確で反復的な直線運動
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コヒーレンススキャン干渉法による表面膜の角度分解三次元分析
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コヒーレンススキャン干渉法を使用したモデルベースの透明表面膜分析の応用
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波長標準を用いた干渉顕微鏡法の増幅係数の較正
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非球面の光学測定における課題とソリューション
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白色光光学プロファイラを用いた正確な表面トポグラフィ測定のための材料とフィルムスタックの特性評価
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