あらゆる表面を瞬時に三次元出力

表面性状測定では留まらないZYGO newviewの優れた測定能力

ZYGO newviewの優れた特徴

   


サンプルセットから測定結果出力まで1分以内  ZYGO独自の測定セットアップ

ZYGO独自の測定セットアップの手順

全ての対物レンズ、あらゆるサンプルに対応 面倒な焦点合わせや測定セットアップを全自動で行います。


ZYGO newview 1台で、あらゆるアプリケーションに対応

newview9000の様々なアプリケーション

特長1:対物レンズの倍率に依存しない超高精度測定

Sa0.1nmの表面を異なる二つの倍率で測定

二つの倍率での測定例

特長2:広い測定エリアでum~nmオーダーの測定

Newview9000 特徴2

特長3:反射率を問わず 白色干渉方式でも斜面や粗面に強い

一般的な光干渉方式は斜面や粗面ではデータ欠損が発生し易いと言われています。 ZYGOは独自のアルゴリズムと高品質な光学部品等により、このような測定面でもデータ欠損なく測定が可能です。

特徴3

特長4:イメージングの向上

独自の画像処理技術を用いることでイメージングが向上 カラー画像と高さ情報の同時取得機能も搭載されています。

特徴4


事例1: レンズ -加工条件による表面性状の変化-

事例1


事例2: ギア -刃面の三次元表面性状測定-

アクセスが難しいギア刃面を短時間で測定

事例2


事例3: ガラス -超精密研磨面の測定-

ガラス -超精密研磨面の測定

  

事例4: レーザー加工 –超高アスペクト比の測定-事例4


事例5: オイル膜厚 -オイル保持性の評価-

事例5


事例6: 加工工具先端形状評価


加工前後の形状変化や摩耗、変形を測定可能

事例6